第308章 给光刻机装“眼睛”
“不是还能用。”
林希收回手指，把沾着油膜的指腹在裤腿上蹭了蹭，
“是它从来就没坏过。”
他绕着GK-3走了一圈。
军大衣被掀开大半，露出主光路系统的铸铝外壳。
汞灯光源的接口擦得锃亮，连螺纹里都没有积灰。
“陈师傅。”
“这台机器当年下马，不是因为光学系统不行。”
林希停在XY工作台前。
用指甲弹了一下导轨侧面的刻度盘。
“是因为这个。”
陈默一愣。
“套刻对准。”
林希蹲下去。
指着工作台底部一组老式的蜗轮蜗杆传动机构，
“纯机械传动，没有位置反馈。”
“丝杠转一圈，理论行程是0.5毫米。”
“但实际上，蜗轮齿面磨损不均匀。”
“每转一圈的真实位移都不一样。”
他站起来，拍了拍手上的灰。
“套刻精度要求正负5微米。”
“这套机械传动的累积误差，最大能到8微米。”
“所以第二层图形永远对不准第一层。”
“废片率超过六成。”
陈默的身体晃了一下。
他当然知道。
这个问题困扰了整个109会战团队两年。
他师傅为了解决这个死区。
在显微镜前连续坐了七十二个小时。
左眼的视网膜就是那时候脱落的。
最后也没解决。
林希从公文包里抽出一张图纸，展开铺在行军床上。
图纸上画着一套改造方案。
XY工作台两侧，各加装一条光栅尺。
光栅尺的信号接入一块数字控制板。
控制板驱动两台微型伺服电机。
替换原有的手摇蜗轮。
“红星和长光所联合自研自产的光栅尺，分辨率1微米。”
林希用笔尖点着图纸，
“配合闭环伺服控制。”
“丝杠的累积误差，在每个采样周期内实时补偿。”
他看向陈默。
“你的机器什么都好。”
“光学系统是王老定的方案。”
“底座经过四年自然时效，主光路没跑偏。”
“它就差一双眼睛。”
“现在，我把眼睛给它装上。”
第308章 给光刻机装“眼睛”(3/3).继续阅读